サイトメニューここからこのページの先頭です

ショートカットキーの説明を開始します。画面遷移や機能実行は、説明にあるショートカットキーを同時に押した後、Enterキーを押してください。ショートカットキーの説明を聞くには、Alt+0。トップ画面の表示には、Alt+1。ログインを行うには、Alt+2。簡易検索画面の表示には、Alt+3。詳細検索画面の表示には、Alt+4。障害者向け資料検索画面の表示には、Alt+5。検索結果の並び替えを行うには、Alt+6。国立国会図書館ホームページの表示には、Alt+7。検索結果の絞り込みを行うには、Alt+8。以上でショートカットキーの説明を終わります。

ナビゲーションここから

ナビゲーションここまで

本文ここから

資料種別 記事・論文

ケイ化モリブデン薄膜高温発熱体の発熱特性の改善

伊東 佑規,佐藤 雅志,脇坂 憲一 他

詳細情報

タイトル ケイ化モリブデン薄膜高温発熱体の発熱特性の改善
著者 伊東 佑規
著者 佐藤 雅志
著者 脇坂 憲一 他
出版年 2007-08
別タイトル Improvement of heating characteristics of molybdenum silicide thin film electric heaters
件名(キーワード) 薄膜高温発熱体
件名(キーワード) MoSi2薄膜
件名(キーワード) RFマグネトロンスパッタリング
件名(キーワード) 発熱体の改良
件名(キーワード) MoSi3薄膜
件名(キーワード) thin film high temperature heater
件名(キーワード) MoSi2 film
件名(キーワード) RF magnetron sputtering
件名(キーワード) alumina substrate
件名(キーワード) improvement of heaters
件名(キーワード) MoSi3 film
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03854205
掲載誌情報(ISSNL形式) 03854205
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015705-00
掲載誌名 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌
掲載巻 127
掲載号 8
掲載ページ 452~458
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

本文ここまで

Copyright © 2012 National Diet Library. All Rights Reserved.

フッター ここまで