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資料種別 記事・論文

超音波デバイス イオンビームエッチングによる水晶振動子の周波数変動

塩野 忠久,長田 祐介,中川 恭彦

詳細情報

タイトル 超音波デバイス イオンビームエッチングによる水晶振動子の周波数変動
著者 塩野 忠久
著者 長田 祐介
著者 中川 恭彦
出版年 2007
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09162410
掲載誌情報(ISSNL形式) 09162410
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000070083-00
掲載誌名 超音波techno / 超音波techno編集部 編
掲載巻 19
掲載号 4
掲載通号 187
掲載ページ 116~120
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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