n-MOSFETの非対称性および配置方位依存性の解析 (シリコン材料・デバイス)

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n-MOSFETの非対称性および配置方位依存性の解析

(シリコン材料・デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
8896014
資料種別
記事
著者
松田 敏弘ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2007-08
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107(194) 2007.8.23・24
掲載ページ
p.113~116
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
松田 敏弘
杉山 裕也
岩田 栄之 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
A test structure for analysis of asymmetry and orientation dependence of MOSFETs
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
107(194) 2007.8.23・24
掲載巻
107
掲載号
194