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アーク・イオンプレー...

アーク・イオンプレーティングによって形成された硬質積層薄膜における残留応力の熱緩和 (特集 X線材料強度)

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アーク・イオンプレーティングによって形成された硬質積層薄膜における残留応力の熱緩和(特集 X線材料強度)

国立国会図書館請求記号
Z14-267
国立国会図書館書誌ID
8893625
資料種別
記事
著者
松英 達也ほか
出版者
京都 : 日本材料学会
出版年
2007-07
資料形態
掲載誌名
材料 / 日本材料学会 [編] 56(7) 2007.7
掲載ページ
p.635~640
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
松英 達也
英 崇夫
池内 保一
シリーズタイトル
並列タイトル等
Thermal relaxation of residual stresses in multi hard films deposited by arc ion plating
タイトル(掲載誌)
材料 / 日本材料学会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
56(7) 2007.7
掲載巻
56
掲載号
7