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資料種別 記事・論文

遺伝的アルゴリズムを用いたステッピングモータ駆動方式半導体ウエハ搬送ロボットアームの軌道計画と実験

小島 宏行,橋本 祥一,桑野 好文 他

詳細情報

タイトル 遺伝的アルゴリズムを用いたステッピングモータ駆動方式半導体ウエハ搬送ロボットアームの軌道計画と実験
著者 小島 宏行
著者 橋本 祥一
著者 桑野 好文 他
出版年 2007-07
別タイトル Trajectory planning of semiconductor wafer transfer robot arm driven by stepping motors using genetic algorithm and experiments
件名(キーワード) Trajectory Planning
件名(キーワード) Semiconductor Wafer Transfer Robot Arm
件名(キーワード) Stepping Motor
件名(キーワード) Genetic Algorithm
件名(キーワード) Quasi Minimum Time Control
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 02891824
掲載誌情報(ISSNL形式) 02891824
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000039445-00
掲載誌名 日本ロボット学会誌 / 日本ロボット学会 編
掲載巻 25
掲載号 5
掲載通号 177
掲載ページ 752~760
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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