記事・論文
| タイトル | CVDプロセスにおける熱流体現象のマルチスケール解析 |
|---|---|
| 著者 | 崎山 幸紀 |
| シリーズ名 | 特集 数値シミュレーションの新展開 |
| 出版年 | 2007 |
| 別タイトル | Multiscale analysis of thermo-fluid phenomena in CVD process |
| 件名（キーワード） | multiscale analysis |
| 件名（キーワード） | ab initio |
| 件名（キーワード） | molecular dynamics |
| 件名（キーワード） | direct simulation Monte Carlo |
| 件名（キーワード） | silicon |
| 件名（キーワード） | CVD |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（ISSN形式） | 09151168 |
| 掲載誌情報（ISSNL形式） | 09151168 |
| 掲載誌情報（URI形式） | http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000065635-00 |
| 掲載誌名 | トライボロジスト / 日本トライボロジー学会 編 |
| 掲載巻 | 52 |
| 掲載号 | 7 |
| 掲載ページ | 513～518 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
