記事・論文
タイトル | CVDプロセスにおける熱流体現象のマルチスケール解析 |
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著者 | 崎山 幸紀 |
シリーズ名 | 特集 数値シミュレーションの新展開 |
出版年 | 2007 |
別タイトル | Multiscale analysis of thermo-fluid phenomena in CVD process |
件名(キーワード) | multiscale analysis |
件名(キーワード) | ab initio |
件名(キーワード) | molecular dynamics |
件名(キーワード) | direct simulation Monte Carlo |
件名(キーワード) | silicon |
件名(キーワード) | CVD |
対象利用者 | 一般 |
資料の種別 | 記事・論文 |
掲載誌情報(ISSN形式) | 09151168 |
掲載誌情報(ISSNL形式) | 09151168 |
掲載誌情報(URI形式) | http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000065635-00 |
掲載誌名 | トライボロジスト / 日本トライボロジー学会 編 |
掲載巻 | 52 |
掲載号 | 7 |
掲載ページ | 513~518 |
言語(ISO639-2形式) | jpn : 日本語 |