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資料種別 記事・論文

ナノシートのAFMプローブによる機械的微細除去加工--ナノ除去加工における高精度化

坂井 高雅,出村 和哉,新藤 斎 他

詳細情報

タイトル ナノシートのAFMプローブによる機械的微細除去加工--ナノ除去加工における高精度化
著者 坂井 高雅
著者 出村 和哉
著者 新藤 斎 他
出版年 2007-07
別タイトル Nanoscopic mechanical removal processing of nano-sheet by AFM probe: high precision in fine removal processing
件名(キーワード) mechanical removal processing
件名(キーワード) nano-sheet
件名(キーワード) atomic force microscope
件名(キーワード) anisotropy
件名(キーワード) fine groove processing
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSN形式) 13488716
掲載誌情報(ISSNL形式) 09120289
掲載誌情報(ISSNL形式) 13488716
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 73
掲載号 7
掲載通号 871
掲載ページ 798~802
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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