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資料種別 記事・論文

Numerical analysis for electromigration of Cu atom

Takenao Nemoto,Tutomu Murakawa,A. Toshimitsu Yokobori, Jr

詳細情報

タイトル Numerical analysis for electromigration of Cu atom
著者 Takenao Nemoto
著者 Tutomu Murakawa
著者 A. Toshimitsu Yokobori, Jr
出版年 2007-09
件名(キーワード) electromigration
件名(キーワード) numerical analysis
件名(キーワード) copper
件名(キーワード) large scale integration
件名(キーワード) LSI
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13459678
掲載誌情報(ISSNL形式) 13459678
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000163280-00
掲載誌名 Materials Transactions
掲載巻 48
掲載号 9
掲載ページ 2513~2517
言語(ISO639-2形式) eng : English

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