分析技術 TOF-SIMSと低角斜め切削法を用いたサブミクロン高分子薄膜の組成分析 (評価技術特集)

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分析技術 TOF-SIMSと低角斜め切削法を用いたサブミクロン高分子薄膜の組成分析

(評価技術特集)

国立国会図書館請求記号
Z17-879
国立国会図書館書誌ID
8882177
資料種別
記事
著者
服部 秀男ほか
出版者
茨木 : 日東電工技術企画部
出版年
2007
資料形態
掲載誌名
日東電工技報 45(1) (通号 88) 2007
掲載ページ
p.68~71
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
服部 秀男
山崎 秀樹
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
日東電工技報
巻号年月日等(掲載誌)
45(1) (通号 88) 2007
掲載巻
45
掲載号
1
掲載通号
88