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資料種別 記事・論文

電子線縮小転写リソグラフィー技術の課題と展望

沖野 輝昭,鈴木 一明,岡本 和也 他

詳細情報

タイトル 電子線縮小転写リソグラフィー技術の課題と展望
著者 沖野 輝昭
著者 鈴木 一明
著者 岡本 和也 他
シリーズ名 IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集 ; 解説論文
出版年 2001-12
件名(キーワード) 電子ビーム
件名(キーワード) リソグラフィー
件名(キーワード) 転写露光
件名(キーワード) EPL
件名(キーワード) EBステッパ
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13452827
掲載誌情報(ISSNL形式) 13452827
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000108168-00
掲載誌名 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス / 電子情報通信学会 編
掲載巻 84
掲載号 12
掲載通号 408
掲載ページ 1200~1206
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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