電子ビームマスク描画装置技術の現状と課題 (IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集 ; 解説論文)

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電子ビームマスク描画装置技術の現状と課題

(IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集 ; 解説論文)

国立国会図書館請求記号
Z16-607
国立国会図書館書誌ID
5994082
資料種別
記事
著者
小笠原 宗博ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
出版年
2001-12
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 84(12) (通号 408) 2001.12
掲載ページ
p.1171~1184
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
小笠原 宗博
東条 徹
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
84(12) (通号 408) 2001.12
掲載巻
84
掲載号
12
掲載通号
408