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資料種別 記事・論文

EUVリソグラフィー技術開発の現状

西山 岩男,小川 太郎,岡崎 信次

詳細情報

タイトル EUVリソグラフィー技術開発の現状
著者 西山 岩男
著者 小川 太郎
著者 岡崎 信次
シリーズ名 IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集 ; 解説論文
出版年 2001-12
件名(キーワード) EUVリソグラフィー
件名(キーワード) 半導体露光装置
件名(キーワード) EUV光源
件名(キーワード) 点回折干渉計
件名(キーワード) 多層膜マスク
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13452827
掲載誌情報(ISSNL形式) 13452827
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000108168-00
掲載誌名 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス / 電子情報通信学会 編
掲載巻 84
掲載号 12
掲載通号 408
掲載ページ 1162~1170
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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