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資料種別 記事・論文

KrFリソグラフィー技術の現状

中尾 修治,徳井 晶,有本 一郎

詳細情報

タイトル KrFリソグラフィー技術の現状
著者 中尾 修治
著者 徳井 晶
著者 有本 一郎
シリーズ名 IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集 ; 解説論文
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2001-12
件名(キーワード) 光リソグラフィー
件名(キーワード) KrFエキシマレーザ
件名(キーワード) レイリー規範
件名(キーワード) 超解像技術
件名(キーワード) 変形照明技術
NDLC ZN33
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000108168-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13452827
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13452827
掲載誌名 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス / 電子情報通信学会 編
掲載巻 84
掲載号 12
掲載通号 408
掲載ページ 1132~1141
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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