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資料種別 記事・論文

Nanofabrication of Si and its related materials with an electron beam

竹口 雅樹,K. Furuya

詳細情報

タイトル Nanofabrication of Si and its related materials with an electron beam
著者 竹口 雅樹
著者 K. Furuya
シリーズ名 日本電子顕微鏡学会第46回シンポジウム 材料のナノ・生物のナノ ; 材料系セッション3 TEMとナノファブリケーション
出版年 2001
別タイトル 電子ビームによるナノ構造創製
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 04170326
掲載誌情報(ISSNL形式) 04170326
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015809-00
掲載誌名 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編
掲載巻 36
掲載巻 Suppl.2
掲載号 -
掲載ページ 84~87
言語(ISO639-2形式) eng : English

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