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雑誌Japanese journal of applied physics Part. 1 Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号Part. 1 Part. 1 40(11)(548);NOVEMBER 2001
記事Accurate M...

Accurate Measurement of Spherical and Astigmatic Aberrations by a Phase Shift Grating Reticle

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CiNii Research

Accurate Measurement of Spherical and Astigmatic Aberrations by a Phase Shift Grating Reticle

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
5985895
資料種別
記事
著者
Hiroshi Nomura
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
2001-11
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 40(11) (通号 548) 2001.11
掲載ページ
p.6316～6322
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資料詳細

要約等：

A new grating structure is proposed for measuring aberrations in lithography lenses. The grating structure on a reticle comprising opaque lines, naked...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
Accurate Measurement of Spherical and Astigmatic Aberrations by a Phase Shift Grating Reticle
著者・編者
Hiroshi Nomura
著者標目
Hiroshi Nomura
タイトル（掲載誌）
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等（掲載誌）
40(11) (通号 548) 2001.11
掲載巻
40
掲載号
11
掲載通号
548
掲載ページ
6316～6322