記事・論文
タイトル | Crystallization of 3C-SiC(III) Thin Films Grown on Si(III) Substrates by Post Thermal Annealing |
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著者 | Hae Gwon Lee |
著者 | Tae Won Kang |
著者 | Sung Ui Hong 他 |
出版年 | 2001-11 |
件名(キーワード) | SiC |
件名(キーワード) | thermal annealing |
件名(キーワード) | X-ray diffraction |
件名(キーワード) | X-ray photoelectron spectroscopy |
件名(キーワード) | crystallization |
対象利用者 | 一般 |
資料の種別 | 記事・論文 |
掲載誌情報(ISSN形式) | 00214922 |
掲載誌情報(ISSNL形式) | 00214922 |
掲載誌情報(URI形式) | http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159719-00 |
掲載誌名 | Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP |
掲載巻 | 40 |
掲載号 | 11 |
掲載通号 | 548 |
掲載ページ | 6304~6306 |
言語(ISO639-2形式) | eng : English |