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資料種別 記事・論文

Observation of Defect Distribution in H Ion Implanted Silicon

岩田 博之,高木 誠,徳田 豊 他

詳細情報

タイトル Observation of Defect Distribution in H Ion Implanted Silicon
著者 岩田 博之
著者 高木 誠
著者 徳田 豊 他
出版年 2000-06
別タイトル Hイオン注入されたシリコンの欠陥分布観察
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13449672
掲載誌情報(ISSNL形式) 13449672
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000107355-00
掲載誌名 愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
掲載号 2
掲載ページ 33~38
言語(ISO639-2形式) eng : English

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