資料 液体有機シラン原料を用いたシリコンカーバイド薄膜製造シミュレーション

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資料 液体有機シラン原料を用いたシリコンカーバイド薄膜製造シミュレーション

国立国会図書館請求記号
Z14-700
国立国会図書館書誌ID
5977904
資料種別
記事
著者
朝比奈 秀一ほか
出版者
松江 (島根県) : 島根県産業技術センター
出版年
2001-11
資料形態
掲載誌名
島根県産業技術センター研究報告 = Report of the Shimane Institute for Industrial Technology (38) 2001.11
掲載ページ
p.63~65
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
朝比奈 秀一
坂本 明美
金山 信幸
タイトル(掲載誌)
島根県産業技術センター研究報告 = Report of the Shimane Institute for Industrial Technology
巻号年月日等(掲載誌)
(38) 2001.11
掲載号
38
掲載ページ
63~65
掲載年月日(W3CDTF)
2001-11
ISSN(掲載誌)
1345-7675