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資料種別 記事・論文

解説 小型のシリコンCZ炉内の酸素輸送とマランゴニ効果

今石 宣之,李 明偉,塚田 隆夫

詳細情報

タイトル 解説 小型のシリコンCZ炉内の酸素輸送とマランゴニ効果
著者 今石 宣之
著者 李 明偉
著者 塚田 隆夫
シリーズ名 小特集 バルク成長分科会特集--結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響
出版年 2000
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03856275
掲載誌情報(ISSNL形式) 03856275
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000029659-00
掲載誌名 日本結晶成長学会誌 / 日本結晶成長学会 [編]
掲載巻 27
掲載号 5
掲載ページ 281~287
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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