薄膜型バルク波共振子におけるZnO圧電薄膜と下地電極の最適化 (特集:強誘電体薄膜材料とプロセス技術)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 吉野 幸夫竹内 雅樹井上 和裕 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 120(12) 2000.12
- 掲載巻
- 120
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- 547～553