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資料種別 記事・論文

薄膜型バルク波共振子におけるZnO圧電薄膜と下地電極の最適化

吉野 幸夫,竹内 雅樹,井上 和裕 他

詳細情報

タイトル 薄膜型バルク波共振子におけるZnO圧電薄膜と下地電極の最適化
著者 吉野 幸夫
著者 竹内 雅樹
著者 井上 和裕 他
シリーズ名 特集:強誘電体薄膜材料とプロセス技術
出版年 2000-12
件名(キーワード) 酸化亜鉛薄膜
件名(キーワード) 薄膜型共振子
件名(キーワード) 高周波スパッタリング
件名(キーワード) 結晶性
件名(キーワード) 圧電素子
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載巻 120
掲載号 12
掲載ページ 547~553
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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