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資料種別 記事・論文

Simulation of Optical Constants Range of High-Transmittance Attenuated Phase-Shifting Masks Used in KrF Laser and ArF Laser

Eunah Kim,Seong-yong Mooon,Yong-hoon Kim 他

詳細情報

タイトル Simulation of Optical Constants Range of High-Transmittance Attenuated Phase-Shifting Masks Used in KrF Laser and ArF Laser
著者 Eunah Kim
著者 Seong-yong Mooon
著者 Yong-hoon Kim 他
出版年 2000-11
件名(キーワード) phase shifting mask
件名(キーワード) attenuated type
件名(キーワード) high transmittance
件名(キーワード) n-k-d chart
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSNL形式) 00214922
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159719-00
掲載誌名 Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
掲載巻 39
掲載号 11
掲載通号 529
掲載ページ 6321~6328
言語(ISO639-2形式) eng : English

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