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資料種別 記事・論文

Nano-scale Morphology and Crystallography of Laser-Deposited TiN Thin Films

Hai-Dan Wang,Yong-Feng Lu,Zhi-Hong Mai 他

詳細情報

タイトル Nano-scale Morphology and Crystallography of Laser-Deposited TiN Thin Films
著者 Hai-Dan Wang
著者 Yong-Feng Lu
著者 Zhi-Hong Mai 他
出版年 2000-11
件名(キーワード) titanium nitride
件名(キーワード) laser ablation
件名(キーワード) scanning tunneling microscopy
件名(キーワード) nanoindentation
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSNL形式) 00214922
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159719-00
掲載誌名 Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
掲載巻 39
掲載号 11
掲載通号 529
掲載ページ 6268~6271
言語(ISO639-2形式) eng : English

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