高品質SiCバルク単結晶の成長

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高品質SiCバルク単結晶の成長

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
5568667
資料種別
記事
著者
中山 浩二ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2000-10-20
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 100(370) 2000.10.20
掲載ページ
p.1~5
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
中山 浩二
三柳 洋一
高田 禎介 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
100(370) 2000.10.20
掲載巻
100
掲載号
370
掲載ページ
1~5
掲載年月日(W3CDTF)
2000-10-20