記事・論文
| タイトル | シンクロトロン放射光によるテフロンの高アスペクト比微細加工--TIEGA |
|---|---|
| 著者 | 加藤 隆典 |
| 著者 | 張 延平 |
| 出版年 | 1999-12 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（ISSN形式） | 02868873 |
| 掲載誌情報（ISSNL形式） | 02868873 |
| 掲載誌情報（URI形式） | http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000037076-00 |
| 掲載誌名 | 放射線と産業 / 放射線利用振興協会高崎事業所 編 |
| 掲載通号 | 84 |
| 掲載ページ | 54～57 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
