記事・論文
タイトル | シンクロトロン放射光によるテフロンの高アスペクト比微細加工--TIEGA |
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著者 | 加藤 隆典 |
著者 | 張 延平 |
出版年 | 1999-12 |
対象利用者 | 一般 |
資料の種別 | 記事・論文 |
掲載誌情報(ISSN形式) | 02868873 |
掲載誌情報(ISSNL形式) | 02868873 |
掲載誌情報(URI形式) | http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000037076-00 |
掲載誌名 | 放射線と産業 / 放射線利用振興協会高崎事業所 編 |
掲載通号 | 84 |
掲載ページ | 54~57 |
言語(ISO639-2形式) | jpn : 日本語 |