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資料種別 記事・論文

反応性スパッタリング法によるa-SixC1-x:H"混非晶"の作成といくつかの性質

嶋田 寿一,片山 良史,宇佐美 勝久

詳細情報

タイトル 反応性スパッタリング法によるa-SixC1-x:H"混非晶"の作成といくつかの性質
著者 嶋田 寿一
著者 片山 良史
著者 宇佐美 勝久
出版年 1979-12
注記 記事分類: 物理学--分子・物性
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03698009
掲載誌情報(ISSNL形式) 03698009
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000002415-00
掲載誌名 応用物理
掲載巻 48
掲載号 12
掲載ページ p1200~1204
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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