大気中での表面改質によるシリコーンとガラスの固体間直接接着法
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 岡田 渉山本 貴富喜
- 並列タイトル等
- Direct bonding between silicone and glass by atmospheric-pressure surface modification
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 131(4) 2011.4
- 掲載巻
- 131
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 159～164