記事・論文
タイトル | GaN及びAlGaNへのSi[+]イオン注入に関する研究 |
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著者 | 豊田 裕輝 |
著者 | 中村 徹 |
出版年 | 2009 |
件名(キーワード) | GaN |
件名(キーワード) | AlGaN/GaN |
件名(キーワード) | ion-implantation |
対象利用者 | 一般 |
資料の種別 | 記事・論文 |
掲載誌情報(ISSN形式) | 02860201 |
掲載誌情報(ISSNL形式) | 02860201 |
掲載誌情報(URI形式) | http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000036034-00 |
掲載誌名 | 法政大学イオンビーム工学研究所報告 |
掲載号 | 30 |
掲載ページ | 21~23 |
言語(ISO639-2形式) | jpn : 日本語 |