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資料種別 記事・論文

教科書から一歩進んだ身近な製品の化学 化学機械研磨(CMP)と研磨剤

土肥 俊郎,山崎 努,大西 修 他

詳細情報

タイトル 教科書から一歩進んだ身近な製品の化学 化学機械研磨(CMP)と研磨剤
著者 土肥 俊郎
著者 山崎 努
著者 大西 修 他
出版年 2011
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03862151
掲載誌情報(ISSNL形式) 03862151
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000065140-00
掲載誌名 化学と教育
掲載巻 59
掲載号 3
掲載ページ 152~155
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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