MFP搭載0.13μmCu配線デバイスの故障解析
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 横山 弘一直永 卓也西垣 直彦
- 並列タイトル等
- Failure analysis on a 0.13μm Cu metallization device for multi functional printer
- タイトル（掲載誌）
- Ricoh technical report
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (36) 2010
- 掲載号
- 36
- 掲載ページ
- 85～91
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2010