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資料種別 記事・論文

真空度検知機能を有する赤外線イメージセンサ

石井 浩一,舟木 英之,八木 均 他

詳細情報

タイトル 真空度検知機能を有する赤外線イメージセンサ
著者 石井 浩一
著者 舟木 英之
著者 八木 均 他
出版年 2011-02
別タイトル Infrared radiation image sensor with function of vacuum pressure detection
件名(キーワード) 赤外線イメージセンサ
件名(キーワード) 真空度
件名(キーワード) 熱コンダクタンス
件名(キーワード) ダイオード
件名(キーワード) infrared radiation image sensor
件名(キーワード) vacuum pressure
件名(キーワード) thermal conductance
件名(キーワード) diode
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載巻 131
掲載号 2
掲載ページ 70~74
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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