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資料種別 記事・論文

ESDガンの垂直結合板への間接放電で生ずる空間電磁界のばらつき

辻 拓朗,高 義礼,藤原 修 他

詳細情報

タイトル ESDガンの垂直結合板への間接放電で生ずる空間電磁界のばらつき
著者 辻 拓朗
著者 高 義礼
著者 藤原 修 他
出版年 2011-02
別タイトル Variations in electromagnetic fields spatially induced for indirect discharges of ESD-Gun onto vertical coupling plane
件名(キーワード) 静電気放電
件名(キーワード) IEC規格
件名(キーワード) 垂直結合板
件名(キーワード) 間接放電
件名(キーワード) 空間電磁界
件名(キーワード) ESD
件名(キーワード) IEC standard
件名(キーワード) vertical coupling plane
件名(キーワード) indirect discharge
件名(キーワード) spatially induced electromagnetic fields
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03854205
掲載誌情報(ISSNL形式) 03854205
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015705-00
掲載誌名 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌
掲載巻 131
掲載号 2
掲載ページ 119~124
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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