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資料種別 記事・論文

サファイア高温隔膜真空計の開発

吉川 康秀,原田 英史,市原 純 他

詳細情報

タイトル サファイア高温隔膜真空計の開発
著者 吉川 康秀
著者 原田 英史
著者 市原 純 他
出版年 2011-01
別タイトル Development of a high-temperature sapphire capacitance diaphragm gauge
件名(キーワード) サファイア
件名(キーワード) 隔膜真空計
件名(キーワード) 静電容量式
件名(キーワード) 圧力センサ
件名(キーワード) 高耐食
件名(キーワード) 高耐熱
件名(キーワード) 単結晶
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 18819699
掲載誌情報(ISSNL形式) 18819699
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008477967-00
掲載誌名 azbil technical review : azbilグループ技術研究報告書
掲載号 52
掲載ページ 34~41
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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