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資料種別 記事・論文

アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善

高橋 正人,涌井 伸二,牧野内 進

詳細情報

タイトル アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善
著者 高橋 正人
著者 涌井 伸二
著者 牧野内 進
出版年 2010-12
別タイトル Performance improvement of semiconductor lithograph machine using active mass damper system
件名(キーワード) Vibration of Mechanism
件名(キーワード) Damper
件名(キーワード) Vibration Control Device
件名(キーワード) Dynamic Absorber
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03875024
掲載誌情報(ISSNL形式) 03875024
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000031920-00
掲載誌名 日本機械学会論文集. C編
掲載巻 76
掲載号 772
掲載ページ 3350~3356
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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