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資料種別 記事・論文

ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si1-xGe[x]薄膜トランジスタの開発

岡部 泰典,近藤 健二,広瀬 研太 他

詳細情報

タイトル ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si1-xGe[x]薄膜トランジスタの開発
著者 岡部 泰典
著者 近藤 健二
著者 広瀬 研太 他
シリーズ名 シリコン材料・デバイス
出版年 2010-12-17
別タイトル Lateral large-grained low-temperature poly-Si1-xGe[x] TFTs on glass substrate
件名(キーワード) Si1-xGe[x]
件名(キーワード) TFT
件名(キーワード) 多結晶薄膜
件名(キーワード) 太陽電池
件名(キーワード) polycrystalline film
件名(キーワード) solar cell
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSNL形式) 09135685
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 110
掲載号 351
掲載ページ 79~82
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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