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資料種別 記事・論文

プロトンビーム描画による光導波路デバイス形成の基礎検討

三浦 健太,佐藤 隆博,江夏 昌志 他

詳細情報

タイトル プロトンビーム描画による光導波路デバイス形成の基礎検討
著者 三浦 健太
著者 佐藤 隆博
著者 江夏 昌志 他
シリーズ名 光エレクトロニクス
出版年 2010-12-17
別タイトル Fabrication of PMMA waveguide devices using focused proton beam
件名(キーワード) プロトンビーム描画
件名(キーワード) PMMA
件名(キーワード) シングルモード導波路
件名(キーワード) Y分岐
件名(キーワード) 光スイッチ
件名(キーワード) Proton Beam Writing
件名(キーワード) Single-Mode Waveguide
件名(キーワード) Y-Junction Waveguide
件名(キーワード) Optical Switch
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSNL形式) 09135685
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 110
掲載号 352
掲載ページ 27~30
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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