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資料種別 記事・論文

UVレーザによる高アスペクト比小径穴あけ加工(第3報)パルス幅の影響

比田井 洋史,伊東 翔,戸倉 和

詳細情報

タイトル UVレーザによる高アスペクト比小径穴あけ加工(第3報)パルス幅の影響
著者 比田井 洋史
著者 伊東 翔
著者 戸倉 和
出版年 2010-12
別タイトル High-aspect-ratio microdrilling with UV laser ablation (3) Influence of pulse width on hole profile
件名(キーワード) laser
件名(キーワード) borosilicate glass
件名(キーワード) micro drilling
件名(キーワード) high aspect
件名(キーワード) pulse width
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSN形式) 13488716
掲載誌情報(ISSNL形式) 09120289
掲載誌情報(ISSNL形式) 13488716
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 76
掲載号 12
掲載通号 912
掲載ページ 1383~1387
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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