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資料種別 記事・論文

流体MEMSキャパシタの高周波等価回路モデルの検討

石田 勝通,北村 和義,古塚 岐 他

詳細情報

タイトル 流体MEMSキャパシタの高周波等価回路モデルの検討
著者 石田 勝通
著者 北村 和義
著者 古塚 岐 他
出版年 2011-01
別タイトル Equivalent RF circuit model on fluid MEMS capacitors
件名(キーワード) RF-MEMS
件名(キーワード) 可変キャパシタ
件名(キーワード) 誘電体
件名(キーワード) 等価回路モデル
件名(キーワード) 散乱パラメータ
件名(キーワード) Variable capacitor
件名(キーワード) Dielectric
件名(キーワード) Equivalent circuit model
件名(キーワード) Scattering parameters
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載巻 131
掲載号 1
掲載ページ 35~39
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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