極薄Si酸化膜を用いたエピタキシャル量子ドット二次元ナノ配列構造の自己組織化と自己修復 (特集 新ヘテロ界面の実現に向けた半導体結晶成長技術の進展)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中村 芳明村山 昭之渡邉 亮子 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Self-organization and self-repair of a two-dimensional nanoarray of Ge quantum dots epitaxially grown on Si substrates using ultrathin SiO2 films
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 31(12) 2010.12
- 掲載巻
- 31
- 掲載号
- 12