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資料種別 記事・論文

極薄Si酸化膜を用いたエピタキシャル量子ドット二次元ナノ配列構造の自己組織化と自己修復

中村 芳明,村山 昭之,渡邉 亮子 他

詳細情報

タイトル 極薄Si酸化膜を用いたエピタキシャル量子ドット二次元ナノ配列構造の自己組織化と自己修復
著者 中村 芳明
著者 村山 昭之
著者 渡邉 亮子 他
シリーズ名 特集 新ヘテロ界面の実現に向けた半導体結晶成長技術の進展
出版年 2010-12
別タイトル Self-organization and self-repair of a two-dimensional nanoarray of Ge quantum dots epitaxially grown on Si substrates using ultrathin SiO2 films
件名(キーワード) quantum dots
件名(キーワード) self-organization
件名(キーワード) self-repair
件名(キーワード) epitaxial growth
件名(キーワード) nanopatterning
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03885321
掲載誌情報(ISSNL形式) 03885321
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000033734-00
掲載誌名 表面科学 / 日本表面科学会 編
掲載巻 31
掲載号 12
掲載ページ 626~631
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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