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資料種別 記事・論文

低温排熱と気化式加湿素材を用いた省エネシステム

海老根 猛

詳細情報

タイトル 低温排熱と気化式加湿素材を用いた省エネシステム
著者 海老根 猛
シリーズ名 特集 半導体工場における省エネルギー対策(その3)
出版年 2010
別タイトル Energy conservation system used the waste heat of low temperature and the media for vaporizing type humidifier
件名(キーワード) 電子工業
件名(キーワード) electronics industry
件名(キーワード) 半導体工業
件名(キーワード) semiconductor industry
件名(キーワード) 省エネルギー
件名(キーワード) energy saving
件名(キーワード) energy conservation
件名(キーワード) 開発
件名(キーワード) development
件名(キーワード) クリーンルーム
件名(キーワード) clean room
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00235032
掲載誌情報(ISSNL形式) 00235032
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000005917-00
掲載誌名 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
掲載巻 48
掲載号 4
掲載通号 308
掲載ページ 39~43
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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