クリーンルーム省エネルギー技術のメリットとデメリット (特集 半導体工場における省エネルギー対策(その3))

記事を表すアイコン

クリーンルーム省エネルギー技術のメリットとデメリット

(特集 半導体工場における省エネルギー対策(その3))

国立国会図書館請求記号
Z16-98
国立国会図書館書誌ID
10934174
資料種別
記事
著者
大久保 義典
出版者
東京 : 日本空気清浄協会
出版年
2010
資料形態
掲載誌名
空気清浄 : コンタミネーションコントロール 48(4) (通号 308) 2010
掲載ページ
p.32~38
すべて見る

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
記事
著者・編者
大久保 義典
著者標目
並列タイトル等
Studying energy saving technologies of clean room systems from the point of view of that's own merits and demerits
タイトル(掲載誌)
空気清浄 : コンタミネーションコントロール
巻号年月日等(掲載誌)
48(4) (通号 308) 2010
掲載巻
48
掲載号
4