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資料種別 記事・論文

環境負荷低減に応える半導体工場向け技術の紹介

齋藤 久士,山口 太朗,中村 真 他

詳細情報

タイトル 環境負荷低減に応える半導体工場向け技術の紹介
著者 齋藤 久士
著者 山口 太朗
著者 中村 真 他
シリーズ名 特集 半導体工場における省エネルギー対策(その3)
出版年 2010
別タイトル New technologies for reducing negative environmental impact in semiconductor factory
件名(キーワード) 半導体工場
件名(キーワード) semiconductor factory
件名(キーワード) 省エネルギー
件名(キーワード) energy saving
件名(キーワード) クリーンルーム
件名(キーワード) clean room
件名(キーワード) ポンプ流量制御システム
件名(キーワード) pump flow volume control system
件名(キーワード) 室圧制御システム
件名(キーワード) room pressure control system
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00235032
掲載誌情報(ISSNL形式) 00235032
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000005917-00
掲載誌名 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
掲載巻 48
掲載号 4
掲載通号 308
掲載ページ 25~31
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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