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資料種別 記事・論文

液晶ディスプレイ製造工程における微細パターン自動修正技術

大庭 博明

詳細情報

タイトル 液晶ディスプレイ製造工程における微細パターン自動修正技術
著者 大庭 博明
シリーズ名 産業機械用商品・要素技術特集号
出版地(国名コード) JP
別タイトル Automatic repair technology of fine pattern in LCD manufacturing process
出版年(W3CDTF) 2010-10
NDLC ZN11
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000062486-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09150528
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09150528
掲載誌名 NTN technical review
掲載号 78
掲載ページ 121~126
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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