有限要素シミュレーションによる不均質半導体のvan der Pauw測定における異常値の発現と緩和に関する検討

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有限要素シミュレーションによる不均質半導体のvan der Pauw測定における異常値の発現と緩和に関する検討

国立国会図書館請求記号
Z16-607
国立国会図書館書誌ID
10798855
資料種別
記事
著者
松村 透ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
出版年
2010-08
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 93(8) (通号 512) 2010.8
掲載ページ
p.256~263
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
松村 透
佐藤 祐一
並列タイトル等
Appearance and relaxation of unusual values in the van der Pauw measurement of the inhomogeneous semiconductors by the FEM simulation
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
93(8) (通号 512) 2010.8
掲載巻
93
掲載号
8
掲載通号
512