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資料種別 記事・論文

有限要素シミュレーションによる不均質半導体のvan der Pauw測定における異常値の発現と緩和に関する検討

松村 透,佐藤 祐一

詳細情報

タイトル 有限要素シミュレーションによる不均質半導体のvan der Pauw測定における異常値の発現と緩和に関する検討
著者 松村 透
著者 佐藤 祐一
出版年 2010-08
別タイトル Appearance and relaxation of unusual values in the van der Pauw measurement of the inhomogeneous semiconductors by the FEM simulation
件名(キーワード) 化合物半導体
件名(キーワード) 不均質
件名(キーワード) vanderPauw法
件名(キーワード) 異常測定値
件名(キーワード) 有限要素法
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13452827
掲載誌情報(ISSNL形式) 13452827
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000108168-00
掲載誌名 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス / 電子情報通信学会 編
掲載巻 93
掲載号 8
掲載通号 512
掲載ページ 256~263
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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