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資料種別 記事・論文

高速・高精度アクチュエータの開発

森 英季,櫻田 陽

詳細情報

タイトル 高速・高精度アクチュエータの開発
著者 森 英季
著者 櫻田 陽
出版年 2009
別タイトル Development of high speed and precision actuator
件名(キーワード) アクチュエータ
件名(キーワード) 精密位置決め
件名(キーワード) 高速
件名(キーワード) 位置フィードバック
件名(キーワード) トラック追従
件名(キーワード) X-Yステージ
件名(キーワード) 走査動作
件名(キーワード) 圧電素子
件名(キーワード) 面内動作
件名(キーワード) 同一平面
件名(キーワード) 磁気記録
件名(キーワード) スピンスタンド
件名(キーワード) Actuator
件名(キーワード) Precision positioning
件名(キーワード) High speed
件名(キーワード) Position feedback control
件名(キーワード) Track following
件名(キーワード) X-Y stage
件名(キーワード) Scanning
件名(キーワード) Piezoelectric element
件名(キーワード) In-plane motion
件名(キーワード) Coplanar plan
件名(キーワード) Magnetic recording
件名(キーワード) Spin-stand
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008469257-00
掲載誌名 業務年報 / 秋田県産業技術総合研究センター 編
掲載巻 2009年度
掲載ページ 70~84
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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