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資料種別 記事・論文

室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討

清水 英彦,樫出 淳,岩野 春男 他

詳細情報

タイトル 室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討
著者 清水 英彦
著者 樫出 淳
著者 岩野 春男 他
シリーズ名 電子部品・材料
出版年 2010-07
別タイトル Characteristic of AZO thin films deposited at room temperature by sputtering method
件名(キーワード) AZO薄膜
件名(キーワード) マグネトロンスパッタ法
件名(キーワード) 対向ターゲット式スパッタ法
件名(キーワード) 結晶性
件名(キーワード) 抵抗率
件名(キーワード) AZO films
件名(キーワード) magnetron sputtering
件名(キーワード) facing targets sputtering
件名(キーワード) crystallinity
件名(キーワード) resistivity
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSNL形式) 09135685
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 110
掲載号 154
掲載ページ 5~9
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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