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資料種別 記事・論文

プラズマ支援真空蒸着法で成膜したポリイミド系薄膜の表面特性

岩森 暁,杉本 亮祐,長田 幸輔 他

詳細情報

タイトル プラズマ支援真空蒸着法で成膜したポリイミド系薄膜の表面特性
著者 岩森 暁
著者 杉本 亮祐
著者 長田 幸輔 他
シリーズ名 有機エレクトロニクス
出版地(国名コード) JP
別タイトル Surface properties of organic thin films prepared by a plasma enhanced vacuum evaporation
出版年(W3CDTF) 2010-07-29
件名(キーワード) 有機薄膜
件名(キーワード) ポリイミド
件名(キーワード) 揮発性有機化合物
件名(キーワード) ガス吸着
件名(キーワード) QCM
件名(キーワード) organic thin film
件名(キーワード) polyimide
件名(キーワード) volatile organic compound
件名(キーワード) gas adsorption
NDLC ZN33
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09135685
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 110
掲載号 157
掲載ページ 1~5
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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