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資料種別 記事・論文

プラズマ支援真空蒸着法で成膜したポリイミド系薄膜の表面特性

岩森 暁,杉本 亮祐,長田 幸輔 他

詳細情報

タイトル プラズマ支援真空蒸着法で成膜したポリイミド系薄膜の表面特性
著者 岩森 暁
著者 杉本 亮祐
著者 長田 幸輔 他
シリーズ名 有機エレクトロニクス
出版年 2010-07-29
別タイトル Surface properties of organic thin films prepared by a plasma enhanced vacuum evaporation
件名(キーワード) 有機薄膜
件名(キーワード) ポリイミド
件名(キーワード) 揮発性有機化合物
件名(キーワード) ガス吸着
件名(キーワード) QCM
件名(キーワード) organic thin film
件名(キーワード) polyimide
件名(キーワード) volatile organic compound
件名(キーワード) gas adsorption
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09135685
掲載誌情報(ISSNL形式) 09135685
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000050569-00
掲載誌名 電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
掲載巻 110
掲載号 157
掲載ページ 1~5
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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