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資料種別 記事・論文

Bosch型エッチャーによるシリコン深掘り技術

野沢 善幸

詳細情報

タイトル Bosch型エッチャーによるシリコン深掘り技術
著者 野沢 善幸
シリーズ名 小特集 シリコン深掘り加工技術
出版地(国名コード) JP
別タイトル Advances in deep silicon etch processing using Bosch process
出版年(W3CDTF) 2010-07
NDLC ZN15
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008601226-00
掲載誌情報(ISSN形式) 18822398
掲載誌情報(ISSN-L形式) 18822398
掲載誌名 Journal of the Vacuum Society of Japan
掲載巻 53
掲載号 7
掲載ページ 446~453
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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